設(shè)備用途：大面積電子槍蒸發(fā)光電膜、光學(xué)膜和防指紋膜。
愛科斯的IKS-OPT2700蒸發(fā)鍍膜機(jī)為實(shí)現(xiàn)大量快速生產(chǎn)大面積光學(xué)膜鍍膜和單層/多層表面改性膜而設(shè)計(jì)，本機(jī)為立式單腔體鍍膜機(jī)，是一種基于電子槍蒸發(fā)的多層光學(xué)薄膜鍍膜系統(tǒng)。本設(shè)備的主要產(chǎn)品蒸發(fā)沉積多層光學(xué)介質(zhì)膜和防指紋膜等，例如，可見光彩色膜、鋁反射膜、AF防指紋膜、低熔點(diǎn)有機(jī)物膜、可見光分光膜、可見光抗反射膜等，也可以為特定的簡單光學(xué)特性膜系進(jìn)行調(diào)試生產(chǎn)。設(shè)備參數(shù)
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爐體尺寸 |
Ф2700×H1670 |
工件架 |
φ2650*H420mm |
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真空度 |
極限真空:6×10-4Pa(24小時空載，不加熱) |
重量 |
8000kg,地板承重﹥1000kg/m2 |
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漏率 |
＜4×10-3Pa×L/S(氦撿漏) |
溫度 |
室溫-250℃，溫度均勻性±5% |
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工作真空 |
6*10-3Pa（自動工藝啟動） |
供電 |
三相電, 380V，50Hz，60-100KW |
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低真空 |
10 分鐘＜10Pa |
水冷 |
腔體流量大于4000l/h,泵組流量大于1800l/h 冷凍機(jī)流量大于1600l/h |
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高真空 |
6 分鐘＜8×10-3Pa |
溫水 |
蒸發(fā)源1800l/h，35-60℃ |
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真空測量 |
全程監(jiān)控，實(shí)時取點(diǎn) |
占地 |
L6×w5.5×H3.5m |
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應(yīng)用 |
眼鏡、反光鏡、手機(jī)背板、防護(hù)罩、光通訊、光學(xué)顯示等 |
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應(yīng)用
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